無油機械真空泵又稱干泵，這種泵無任何工作液。因此能保證被抽空間清潔，對周圍環(huán)境沒有污染，有人稱之為“綠色”真空泵。使用它可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。例如，顯像管內(nèi)無油污染能保證陰極發(fā)射穩(wěn)定，圖像清晰，使用壽命長；鍍膜室內(nèi)無油，能提高膜層性能，增加膜層牢固度等。因此無油機械真空泵適用于真空電子行業(yè)。

　　本文所介紹的無油機械真空泵均指直排大氣的泵。所謂無油是指在泵腔內(nèi)不使用油類和液體，而傳動的齒輪和軸承還需要油類潤滑，只是油蒸氣不允許進入泵的吸氣口。

　　1無油機械真空泵的種類無油機械真空泵的種類很多，按泵的結(jié)構(gòu)，可分成接觸式和非接觸式兩大類。接觸式是指泵的運動件與靜止件之間有接觸、摩擦，如旋片泵、活塞泵等，其大壓縮比隨壓力大小無大幅度變化，在接近大氣壓時比非接觸式壓縮比大。非接觸式是指泵的兩運動件之間或運動件與靜止件之間沒有任何接觸，轉(zhuǎn)子需要高速旋轉(zhuǎn)，如羅茨泵、爪型泵、螺旋型泵等，其大壓縮比隨壓力變化而變化，接近大氣壓狀態(tài)時，壓縮比很小，因此需要多級組合抽氣。比較科學(xué)的方法應(yīng)該是按泵的工作原理劃分泵的種類，通常：2002-0326研和教學(xué)工作�？煞殖扇莘e型和動量傳輸型兩大類，每一類里還包括幾種不同形式的泵，如所示111.幾種主要泵的性能比較如表1所示。

　　無油機械真空泵。*；容積型動量傳輸型往回挹式圖i無油機械真空泵的種類2往復(fù)活塞型無油機械真空泵活塞型無油機械真空泵結(jié)構(gòu)簡單、加工容易、性能可靠、使用方便。這種泵的性能和部分生產(chǎn)廠家如表2所示，典型結(jié)構(gòu)如所示。

　　表1幾種無油機械真空泵的性能比較泵型- -般級數(shù)單級壓縮比極限壓力備注大氣端真空端羅茨泵易發(fā)熱，需冷卻爪型加工、裝配有難度活塞型怕抽帶顆粒的氣體渦旋型間隙小、難裝調(diào)螺旋型間隙小、轉(zhuǎn)速高旋片型怕抽帶顆粒的氣體螺桿型加工比較困難渦輪型多級串聯(lián)轉(zhuǎn)速高表2活塞型無油真空泵概況型號生產(chǎn)廠家極限壓力/Pa排氣壓力/Pa抽速/Ls-丨轉(zhuǎn)數(shù)/min-丨功率"（W主要特點DVP-500DVP-1000Varian（美國）7. 120用方便，易于維修，運轉(zhuǎn)費用低FujiTech單缸2.661X1053.33 251.626一個缸上可以實現(xiàn)Inc（日本）雙缸0.027三級壓縮GAST密西根WL-50上海真空泵廠溫州工業(yè)泵廠46601.5X1作臥式，真空度不高A立式，半無油，7水冷，結(jié)構(gòu)復(fù)雜LVP-100 LVP-200泰興特種泵廠13061. 5X1375性能穩(wěn)定WYA個人專利6⑴8001. 22.0泵性能不穩(wěn)定HWZ-4鞍山無油空壓機有限公司6001.5X1作4896144空冷，V型，無十字頭，噪聲較大陰轉(zhuǎn)子按順時針旋轉(zhuǎn)，為從動轉(zhuǎn)子，圖中轉(zhuǎn)子端面是吸氣面，機殼上有特定形狀的吸氣口，如圖中粗實線所示。

　　典型活塞型無油機械泵結(jié)構(gòu)示意圖為三級4腔泵，1，2腔為并聯(lián)，當(dāng)入口在高壓力區(qū)12腔可通過輔助排氣閥直接向大氣中排氣，當(dāng)入口壓力下降到不能推開輔助排氣閥時，三級4腔才串聯(lián)壓縮。這種泵的主要缺點除不能抽出帶顆粒的氣體外，其壽命受到活塞和吸排氣閥壽命的影響，需要定期更換。

　　3螺桿型無油機械真空泵螺桿式與活塞式真空泵都屬于容積式真空泵。

　　其主要優(yōu)點是：①零部件少，沒有易損件，因而壽命長；②動平衡性好，沒有不平衡慣性力，工作平穩(wěn)；③無喘振現(xiàn)象，實現(xiàn)連續(xù)排氣；④可以抽除含水蒸氣、粉塵的氣體。主要缺點是造價高，轉(zhuǎn)子齒面是一空間曲面，需利用特制刀具和專用機床；氣缸的加工精度要求也高。

　　螺桿式無油真空泵的工作循環(huán)可分為吸氣、壓縮和排氣3個過程。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，一對齒的工作循環(huán)可表示為：吸氣過程如所示，所研究的一對齒用箭頭標(biāo)出，圖中陽轉(zhuǎn)子按逆時針旋轉(zhuǎn)，為主動轉(zhuǎn)子，螺桿式無油真空泵吸氣過程圖中（a）表示一對齒前端型線完全嗤合。隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動，逐漸脫離嚙合，形成了齒間容積，內(nèi)部形成了一定的真空，氣體在壓差作用下，從吸氣口流入齒間容積，如圖）中陰影部分所示。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，齒間容積不斷擴大，并與吸氣口保持相通，其過程有如活塞（陽轉(zhuǎn)子）在氣缸（陰轉(zhuǎn)子）中滑動吸氣。

　　吸氣結(jié)束時的轉(zhuǎn)子位置如圖（）所示，此時齒間容積達大值，齒間容積與吸氣孔口斷開。

　　壓縮過程示出螺桿泵的壓縮過程。

　　圖中轉(zhuǎn)子端面是排氣端，機殼上的排氣口如圖實線所示，陽轉(zhuǎn)子順時針旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)子逆時針旋轉(zhuǎn)。圖中（a）示出壓縮過程即將開始時的轉(zhuǎn)子位置，氣體被轉(zhuǎn)子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由轉(zhuǎn)子齒的嚙合開始減小。

　　隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)（如圖（b）），齒間容積不斷減小，導(dǎo)致壓力升高，實現(xiàn)氣體的壓縮過程，一直到圖（c）中的位置，齒間容積即將與排氣口相通。

　　排氣過程如所示，齒間容積與排氣口相通，隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，齒間容積繼續(xù)減小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣口排出。這個過程一直到齒末端型線完全嚙合，封閉的齒間容積變?yōu)榱恪?/p>

　　螺桿式無油真空泵的排氣過程這種泵故障率低、壽命長，給用戶帶來方便，受使用者歡迎。但因螺桿型線復(fù)雜，加工困難，成本較高，市場售價偏高。

　　典型螺桿泵的性能列于表3鄭新，熊曉楠等。脈沖雷達發(fā)射機頻譜控制的研究。

　　強伯涵，魏智�，F(xiàn)代雷達發(fā)射機的理論設(shè)計和實踐。.